晶圓研磨機GDM300內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工
晶圓研磨機GDM300晶圓減薄特長:
·采用全自動系統(tǒng),從后磨到貼裝的連續(xù)過程,,可研磨至25um厚度,。
·2個磨頭階段,產(chǎn)量幾乎是1個磨頭系統(tǒng)的兩倍,。
·內(nèi)置修邊系統(tǒng)可作為薄型晶圓加工的選擇,。
·雙指標體系,拋光階段和研磨階段完全分離,,滿足TSV和MEMS工藝所需的清潔,。
·超亮度小于Ra1A,可超鏡面,。
了解更多:http://www.hapoin.com/Wafer_Grinding/gdm300.htm
晶圓研磨機GDM300晶圓減薄相關(guān)產(chǎn)品:
衡鵬供應(yīng)
晶圓研磨/晶圓減薄/晶圓拋光/晶圓背拋/Wafer Grinding GNX200BP