自動晶圓撕膜機(jī)_SINTAIKE手動貼膜STK-5150

自動晶圓撕膜機(jī)_SINTAIKE手動貼膜STK-5150規(guī)格：

晶圓尺寸： 8” &12”晶圓；

厚度：150 ～ 750微米,；

晶圓種類：硅,、砷化鎵,；平邊或V型缺口晶圓,；

撕膠膜種類：撕膜膠帶；

寬度：100～150毫米,；

長度：100米,；

撕膜角度：<45度，并且在 5°～45°可調(diào)節(jié),；

撕膜溫度：室溫到100 ℃范圍可調(diào),，控溫精度+/-3℃；

晶圓臺盤：通用防靜電特氟龍涂層接觸式金屬臺盤,；

                帶可控加熱功能,，溫度MAX可達(dá)100℃；

                臺盤帶吸真空功能,；

裝卸方式：晶圓手動放置與取出,；

防靜電控制：離子風(fēng)扇；

晶圓定位：彈簧銷釘定位,；

控制單元：基于PLC 控制,，并配有5.7”觸摸屏；

驅(qū)動單元：伺服馬達(dá)驅(qū)動,；

安全保護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕,；

電源電壓：單相交流電220V，10A,；

壓縮空氣：5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘,；

機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；

機(jī)器指示：三色燈塔顯示機(jī)臺工作狀態(tài),；

體積：950毫米(寬)x1500毫米(深)x1800毫米(高),；

凈重：300公斤；

自動晶圓撕膜機(jī)性能:

晶圓收益：≥99.9%,；

撕膜質(zhì)量：無裂片,；

每小時產(chǎn)能：≥ 80片晶圓；

更換產(chǎn)品時間：≤ 5分鐘,；

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