隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，產(chǎn)品性能的不斷提高和改善,，對(duì)半導(dǎo)體的表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)格,，迫使行業(yè)內(nèi)的清洗裝置也在逐步的改善。現(xiàn)有的半導(dǎo)體清洗花籃,，將半導(dǎo)體晶片放置在清洗花籃中,，通常為保證半導(dǎo)體晶片能充分接觸清洗液，清洗花籃的槽齒與外界都是連通的,，槽齒之間無(wú)加強(qiáng)筋等,，強(qiáng)度較低，易破碎,，而且現(xiàn)有清洗花籃的結(jié)構(gòu)使得清洗空間的通風(fēng)性不好，清洗液的流動(dòng)也不好,。

PFA花籃 / 清洗花藍(lán) / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍晶圓盒 為 為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器,，可依照客戶(hù)需求設(shè)計(jì),，全氟烷氧基材質(zhì)有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性，耐高溫200~220℃,、耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸,、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿),，主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門(mén)之酸堿制程中使用,、傳送晶圓。