HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國(guó) HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計(jì). HVA 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門(mén)上雙密封設(shè)計(jì), 閥門(mén)內(nèi)部幾乎沒(méi)有移動(dòng)部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離 - 免維護(hù)
真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計(jì)和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動(dòng)或氣動(dòng)控制
標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
全部美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列參數(shù):
閥門(mén)材質(zhì): | |
- 閥門(mén)主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門(mén)密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關(guān)閉 | 2 bar (任意位置) |
- 開(kāi)啟前最大壓力 | ≤ 1 bar |
烘烤溫度（不含電磁閥）: | |
- 佛橡膠密封 | 150 °c, 可選配置最大 250 °c |
- 驅(qū)動(dòng)方式 | 手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c |
- 氣體 | 80 psig (5.5 bar) |
- 電磁 | 4.0 Watts |
- 供電 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,最大 | 115 VAC |
使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定) | |
公稱通徑: DN 50 - 200 mm | |
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列部件圖:
