W1光學(xué)3D輪廓儀利用光學(xué)干涉原理，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測,。具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,。

產(chǎn)品功能

(1)W1光學(xué)3D輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

部分技術(shù)指標(biāo)

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。

W1光學(xué)3D輪廓儀特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量,。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

性能特色

1,、高精度,、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性,；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風(fēng)險,。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

W1光學(xué)輪廓儀的自動拼接測量功能,，不管是在粗糙或是光滑,、異形或是平面結(jié)構(gòu),，當(dāng)要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候,，可以根據(jù)不同表面特點進行重建算法的切換。