W1光學(xué)3D輪廓儀利用光學(xué)干涉原理,，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè),。具有測(cè)量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),。

產(chǎn)品功能

(1)W1光學(xué)3D輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

部分技術(shù)指標(biāo)

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。

W1光學(xué)3D輪廓儀特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

應(yīng)用范例：

性能特色

1、高精度,、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高,；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測(cè)量重復(fù)性,；

2、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊,，能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測(cè),、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦,、找條紋等測(cè)量前工作。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

W1光學(xué)輪廓儀的自動(dòng)拼接測(cè)量功能,，不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結(jié)構(gòu),，當(dāng)要測(cè)量超出適配鏡頭下的單視場(chǎng)區(qū)域的時(shí)候,，可以根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換。