測量范圍( (mm)

300×200×200

400×300×200

500×400×200

承重(kg)

25

25

25

測量精度

XY軸*

E2=(2.3+L/200)μm

E2=(2.5+L/200)μm

Z軸**

E1=(5.0+L/200)μm

速度

XY軸

300mm/S

Z軸

200mm/S

光柵尺

高精度光柵尺

導(dǎo)軌

精密直線導(dǎo)軌

圖像傳感器

1/2’’高清晰彩色專用工業(yè)攝像機

光源***

輪廓光

LED冷光源,，亮度程控可調(diào)

表面光

LED冷光源，各段獨立操控,，亮度可調(diào)

光學(xué)鏡頭

6.5:1連續(xù)變倍

放大倍率****

               光學(xué)放大倍率：0.7～4.5×,；影像放大倍率：21～138×

軟件

2D測量軟件

運動控制

閉環(huán)CNC直流伺服系統(tǒng)

保修期

24個月

工作環(huán)境

溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr,，濕度30～80%

振動<0.002g,，低于15Hz，220V/50Hz/10A