測(cè)量范圍( (mm)

300×200×200

400×300×200

500×400×200

外部尺寸(mm)

1040×740×1620

1240×800×1620

1440×1000×1680

重量(kg)

240

290

380

承重(kg)

30

30

30

測(cè)量精度

XY軸*

E2=(2+L/200)μm

E2=(2.2+L/200)μm

Z軸**

E1=(5.0+L/200)μm

速度

XY軸

300mm/S

Z軸

200mm/S

光柵尺

高精度光柵尺

導(dǎo)軌

高精密直線導(dǎo)軌

圖像傳感器

1/2’’高清晰彩色專用工業(yè)攝像機(jī)

光源***

輪廓光

LED冷光源,，亮度程控可調(diào)

表面光

LED冷光源，各段獨(dú)立操控，亮度可調(diào)

光學(xué)鏡頭

6.5:1連續(xù)變倍或定格變倍鏡頭

放大倍率****

               光學(xué)放大倍率：0.7～4.5×,；影像放大倍率：21～138×

軟件

2D測(cè)量軟件

運(yùn)動(dòng)控制

閉環(huán)CNC直流伺服系統(tǒng)

保修期

24個(gè)月

工作環(huán)境

溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80%

振動(dòng)<0.002g,，低于15Hz，220V/50Hz/10A