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PECVD設(shè)備
 
單價： 面議
起訂：
供貨總量：
發(fā)貨期限： 自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
所在地： 山東 青島市
有效期至： 長期有效
最后更新： 2021-11-17 15:43
瀏覽次數(shù)： 512
 
公司基本資料信息
詳細(xì)說明

 

產(chǎn)品簡介：
Load-lock式Plasma CVD設(shè)備CC-200/400是小型的使用便利的可對應(yīng)從研究開發(fā)到量產(chǎn)的設(shè)備。                                     

產(chǎn)品特性：
? 27.12MHz高密度等離子制程
 
? SiH4系：SiO2、SiNx,、SiON,、a-Si、TEOS系：可對應(yīng)SiO2膜
 
? 以CF4+O2 Plasma實現(xiàn)腔體清潔功能
 
? 可對應(yīng)有機EL（OLED）的低溫成膜用heater
 
? 使用Tray可搬送多種基板尺寸
 
? 通過使用真空Box實現(xiàn)C系列的間接連續(xù)制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）

產(chǎn)品應(yīng)用：
? 功率器件

? LED,、LD、高速device等化合物相關(guān)

? 有機EL（OLED）開發(fā)

? 太陽電池開發(fā)



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