用于研究開(kāi)發(fā)的高密度等離子蝕刻裝置NE-550 EX,，以有磁場(chǎng)ICP（ISM＝Inductivery Super Magnetron）方式的高密度等離子蝕刻裝置,，采用單葉式的標(biāo)準(zhǔn)裝備了LL室，實(shí)現(xiàn)了緊湊,、低價(jià)格,。